派瑞林涂敷工艺主要由固态环状二聚体原料的升华、裂解和沉积三个过程组成。将固态环二体原料放入升华炉后封闭升华炉，固态原料在120~180℃温度下蒸发汽化形成气态二聚体；气态二聚体在真空作用下进入裂解炉，炉内650~700℃的高温将二聚体分子的2个侧链碳碳链裂解生成稳定的活性单体；单体进入沉积腔室在室温下进行聚合沉积，瞬间吸附在产品表面聚合成为聚对二甲苯薄膜。

基于派瑞林涂敷是气相沉积的特性，派瑞林涂敷在任何形状表面都可以形成一层完整、超薄、形状完全一致的涂层，不存在涂敷盲区；单气体均匀分散到产品各表面并直接形成固体，不存在液相过程中的流挂及边角效应，消除了涂层厚度不均匀，涂敷膜内无固化应力，不存在膨胀或收缩变形，涂层无裂纹或针孔等缺陷。

派瑞林涂敷涂层厚度可精确控制，涂层厚度取决于原料消耗量、工件的涂敷面积及气体单体在沉积腔内的驻留时间，通常的沉积速率为0.5～5 μm/h。